[发明专利]气体的光电测量装置及方法

摘要

本发明提供了气体的光电测量方法，包括以下步骤：(A1)光源发出的测量光进入谐振腔内，在第一高反镜和第二高反镜间来回反射，测量光被被测气体吸收而衰减；(A2)探测模块将接收到的从谐振腔出射的光强转换为第一电信号，并传送到分析单元；(A3)快速关断进入谐振腔的测量光，探测模块将接收到的从谐振腔出射的光强转换为第二电信号，并传送到补偿模块；(A4)补偿模块根据接收到的第二电信号得出衰荡时间τ，从而补偿测量光在谐振腔内的光程，进而将补偿后的光程Leff传送到分析单元；(A5)分析单元利用光谱技术分析接收到的第一电信号以及光程Leff，从而获知被测气体的含量。本发明具有测量精度高、可用于复杂背景下微量气体的测量等优点。

主权项

气体的光电测量装置，其特征在于：所述测量装置包括：光源，所述光源用于发出测量光，所述测量光包含对应于被测气体吸收谱线的波长；开关模块，所述开关模块用于控制是否有测量光进入谐振腔；谐振腔，所述谐振腔包括第一高反镜和第二高反镜，所述谐振腔用于容纳被测气体且使所述测量光进入并在所述第一高反镜和第二高反镜之间来回反射；探测模块，所述探测模块用于在所述开关模块为开状态时将接收到的从所述谐振腔出射的光强转换为第一电信号，并传送到分析单元，以及在所述开关模块为关状态时将接收到的从所述谐振腔出射的光强转换为第二电信号，并传送到补偿模块；补偿模块，所述补偿模块用于根据接收到的所述第二电信号得出衰荡时间τ，从而补偿所述测量光在所述谐振腔内的光程，进而将补偿后的有效光程Leff传送到分析单元；分析单元，所述分析单元用于利用光谱技术分析接收到的所述第一电信号以及有效光程Leff，从而获知所述谐振腔内被测气体的含量。