[发明专利]钽粉末的提纯方法及钽靶材有效
| 申请号： | 201110460442.0 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN102517460A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;袁海军 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C22B34/24 | 分类号： | C22B34/24;C22B9/14;B22F1/00;C23C14/34;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种钽粉末的提纯方法，包括：提供低纯度钽粉末；对所述低纯度钽粉末进行射频加热提纯。此外，本发明还提供一种经过上述提纯方法形成的钽粉末制成的钽靶材。采用本发明提供的钽粉末的提纯方法，可以对钽粉末的纯度进行提高。采用本发明提供的钽靶材，在溅射过程中，可以提供均匀度更高的薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 粉末 提纯 方法 钽靶材 | ||
【主权项】：
一种钽粉末的提纯方法，其特征在于，包括：提供低纯度钽粉末；对所述低纯度钽粉末进行射频加热提纯。
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