[发明专利]固结金刚石线切割单晶硅片的制绒方法无效
| 申请号： | 201110459800.6 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103184525A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 叶俊;赵芳芳;赵宇 | 申请（专利权）人： | 上海晶太光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 马家骏 |
| 地址： | 201501 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于公开一种固结金刚石线切割单晶硅片的制绒方法，它包括如下步骤：(a)采用氧化剂和强碱混合溶液制成粗抛液对固结金刚石线切割单晶硅片进行粗抛，即对固结金刚石线切割单晶硅片上的对线痕片进行预处理；(b)将上述单晶硅片放入制绒液中进行制绒，得到良好的表面和绒面的单晶硅片；与现有技术相比，在不影响产量的情况下，很好的解决了绒面异常及外观不良等问题，效果显著，工艺简单，实用性强，实现本发明的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 固结 金刚石 切割 单晶硅 方法 | ||
【主权项】：
一种固结金刚石线切割单晶硅片的制绒方法，其特征在于，它包括如下步骤：(a)采用氧化剂和强碱混合溶液制成粗抛液对固结金刚石线切割单晶硅片进行粗抛，即对固结金刚石线切割单晶硅片上的对线痕片进行预处理；(b)将上述单晶硅片放入制绒液中进行制绒，得到良好的表面和绒面的单晶硅片。
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