[发明专利]低温材料优质化方法及其处理装置无效
| 申请号： | 201110456029.7 | 申请日： | 2011-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN103184424A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 陈柏颕 | 申请（专利权）人： | 陈柏颕 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58;C23C16/56 |
| 代理公司： | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人： | 张雅军 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种低温材料优质化方法，包含一第一超临界流体清洗步骤、一恒温处理步骤，及一第二超临界流体清洗步骤，第一超临界流体清洗步骤是先将一待处理材料置于真空环境中，再以超临界状态的流体清洗该待处理材料，恒温处理步骤是将清洗后的待处理材料暴露于压力在70～400atm且温度在摄氏100～450度的环境下，第二超临界流体清洗步骤是以超临界状态的流体清洗经过恒温处理步骤的待处理材料。借此，在相对低温及高压环境下进行恒温处理，使待处理材料能够进行类似于微细颗粒化的过程与再结晶化的过程，得到均匀度、覆盖性佳的高质量材料。本发明也提供一种低温材料优质化处理装置。 | ||
| 搜索关键词： | 低温 材料 优质 方法 及其 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种低温材料优质化方法，其特征在于：包含有一个第一超临界流体清洗步骤，是先将一个待处理材料置于一个真空环境中，之后再以超临界状态的流体对该待处理材料进行清洗；一个恒温处理步骤，将经过该第一超临界流体清洗步骤清洗后的该待处理材料暴露于压力在70～400大气压且温度在摄氏100～450度的环境下一预设时间；以及一个第二超临界流体清洗步骤，以超临界状态的流体对经过该恒温处理步骤的该待处理材料进行清洗。
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