[发明专利]一种小口径、大曲率球面光学元件的偏心检测方法有效

专利信息
申请号: 201110455362.6 申请日: 2011-12-21
公开(公告)号: CN102538716A 公开(公告)日: 2012-07-04
发明(设计)人: 崔杰;弋建鱼 申请(专利权)人: 西安北方捷瑞光电科技有限公司
主分类号: G01B11/27 分类号: G01B11/27
代理公司: 西安西交通盛知识产权代理有限责任公司 61217 代理人: 陈翠兰
地址: 710075 陕西省*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种小口径、大曲率球面光学元件的偏心检测方法,包括:1)将标准平面置于带读数测量的位移装置上,带读数测量的位移装置置于显微镜或放大镜下;2)利用定位工装将待测工件的球心垂直于标准平面,且待测工件球面与标准平面靠紧,通过显微镜或放大镜观测待测工件球面与标准平面两接触表面间形成清晰的牛顿环;3)通过显微镜或放大镜从牛顿环的投影方向观测牛顿环并将牛顿环暗环中心位置;4)利用带读数测量的位移装置测量牛顿环暗环中心原点到待测工件基准面的距离,得到待测工件球心到标准平面的偏心量。该方法测量成本低、测量易实现、利于生产现场的批量快速检测。
搜索关键词: 一种 小口径 曲率 球面 光学 元件 偏心 检测 方法
【主权项】:
一种小口径、大曲率球面光学元件的偏心检测方法,其特征在于包括以下步骤:1)将标准平面(4)放置于带读数测量的位移装置(5)上,同时将该带读数测量的位移装置(5)置于显微镜或放大镜(6)下;2)利用定位工装将待测工件(2)的球心垂直于标准平面(4),且待测工件(2)球面与标准平面(4)靠紧,通过显微镜或放大镜(6)观测待测工件(2)球面与标准平面(4)两接触表面间形成清晰的牛顿环;3)通过显微镜或放大镜(6)从牛顿环的投影方向观测牛顿环并将牛顿环暗环中心位置;4)利用带读数测量的位移装置(5)测量牛顿环暗环中心原点到待测工件(2)基准面的距离,得到待测工件(2)球心到标准平面(4)的偏心量。
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