[发明专利]密封性好的单晶炉炉体无效

专利信息
申请号: 201110455271.2 申请日: 2011-12-31
公开(公告)号: CN103184505A 公开(公告)日: 2013-07-03
发明(设计)人: 汤仁兴 申请(专利权)人: 汤仁兴
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00
代理公司: 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 代理人: 唐纫兰;曾丹
地址: 214434 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种密封性好的单晶炉炉体,属于单晶硅的生产制造设备技术领域。一种密封性好的单晶炉炉体,其特征在于:它包括上炉体(1)和下炉体(2),所述上炉体(1)的底部设有上法兰(1.1),所述下炉体(2)的顶部设有下法兰(2.1),所述上法兰(1.1)和下法兰(2.1)之间通过螺丝连接。这种密封性好的单晶炉炉体的上炉体底部设有上法兰,下炉体的顶部设有下法兰,所述上法兰和下法兰之间通过螺丝连接,上炉体和下炉体之间便得到了牢靠的固定,保证了炉体的密封性,使得炉体内的热气不容易溢出,保证了单晶硅的生产质量。
搜索关键词: 密封性 单晶炉炉体
【主权项】:
一种密封性好的单晶炉炉体,其特征在于:它包括上炉体(1)和下炉体(2),所述上炉体(1)的底部设有上法兰(1.1),所述下炉体(2)的顶部设有下法兰(2.1),所述上法兰(1.1)和下法兰(2.1)之间通过螺丝连接。
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