[发明专利]密封性好的单晶炉炉体无效
申请号: | 201110455271.2 | 申请日: | 2011-12-31 |
公开(公告)号: | CN103184505A | 公开(公告)日: | 2013-07-03 |
发明(设计)人: | 汤仁兴 | 申请(专利权)人: | 汤仁兴 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人: | 唐纫兰;曾丹 |
地址: | 214434 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种密封性好的单晶炉炉体,属于单晶硅的生产制造设备技术领域。一种密封性好的单晶炉炉体,其特征在于:它包括上炉体(1)和下炉体(2),所述上炉体(1)的底部设有上法兰(1.1),所述下炉体(2)的顶部设有下法兰(2.1),所述上法兰(1.1)和下法兰(2.1)之间通过螺丝连接。这种密封性好的单晶炉炉体的上炉体底部设有上法兰,下炉体的顶部设有下法兰,所述上法兰和下法兰之间通过螺丝连接,上炉体和下炉体之间便得到了牢靠的固定,保证了炉体的密封性,使得炉体内的热气不容易溢出,保证了单晶硅的生产质量。 | ||
搜索关键词: | 密封性 单晶炉炉体 | ||
【主权项】:
一种密封性好的单晶炉炉体,其特征在于:它包括上炉体(1)和下炉体(2),所述上炉体(1)的底部设有上法兰(1.1),所述下炉体(2)的顶部设有下法兰(2.1),所述上法兰(1.1)和下法兰(2.1)之间通过螺丝连接。
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