[发明专利]密封性好的单晶炉炉体

说明书

技术领域

本发明涉及一种密封性好的单晶炉炉体，属于单晶硅的生产制造设备技术领域。

背景技术

单晶硅是具有完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导体材料，目前被广泛用于半导体器件以及太阳能电池的制造。现有的单晶硅制造设备为单晶炉，其主要包括炉底、下炉体、上炉体、上炉盖、隔离阀和副炉六大部分组成。

以往的上炉体和下炉体之间连接时，是将下炉体顶部设置成凸台状，再将上炉体直接盖在下炉体顶部，这样便完成了固定。然而这样固定的上炉体和下炉体之间的密封性较差，炉体内的热气容易溢出，影响了单晶硅的生产。

发明内容

本发明的目的在于克服上述不足，提供一种使热气不易溢出，保证了单晶硅正常生产的密封性好的单晶炉炉体。

本发明的目的是这样实现的：

本发明密封性好的单晶炉炉体，包括上炉体和下炉体，所述上炉体的底部设有上法兰，所述下炉体的顶部设有下法兰，所述上法兰和下法兰之间通过螺丝连接。

这种密封性好的单晶炉炉体具有以下优点：

这种密封性好的单晶炉炉体的上炉体底部设有上法兰，下炉体的顶部设有下法兰，所述上法兰和下法兰之间通过螺丝连接，上炉体和下炉体之间便得到了牢靠的固定，保证了炉体的密封性，使得炉体内的热气不容易溢出，保证了单晶硅的生产质量。

附图说明

图1为本发明密封性好的单晶炉炉体的结构示意图。

图中：上炉体1、上法兰1.1、下炉体2、下法兰2.1。

具体实施方式

参见图1，本发明涉及的一种密封性好的单晶炉炉体，包括上炉体1和下炉体2，所述上炉体1的底部设有上法兰1.1，所述下炉体2的顶部设有下法兰2.1，所述上法兰1.1和下法兰2.1之间通过螺丝连接。

这样上炉体1和下炉体2之间便得到了牢靠的固定，保证了炉体的密封性，使得炉体内的热气不容易溢出，保证了单晶硅的生产质量。