[发明专利]一种薄板状多晶材料的切割方法无效
| 申请号： | 201110449931.6 | 申请日： | 2011-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN103182749A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 杨海;石红春;赵永田;李文江;张树玉;郝超;黄万才 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;有研光电新材料有限责任公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 程凤儒 |
| 地址： | 100088 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄板状多晶材料的切割方法，该切割方法包括以下步骤：(1)首先对现有的单线金刚石砂线切割机的卡具进行改造，使卡具的定位面与砂线切割面平行；(2)对多晶材料的沉积表面进行精磨，使晶体表面平整度小于0.02mm；(3)将精磨好的多晶材料固定在卡具上，定位后设定零点；(4)设定切割厚度和片数，进行切割。本发明采用现有的精密单线金刚石砂线切割机，通过改造装卡方式、加工工艺步骤，省去了对刀起刀的工序，提高了生产效率。本发明的方法能很好地完成多晶材料的精密切割，厚度加工精度能够达到±0.05mm/200mm，满足使用要求，成本至少减少了10％，大大提高了薄板状多晶材料的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄板 多晶 材料 切割 方法 | ||
【主权项】：
一种薄板状多晶材料的切割方法，其特征在于，该切割方法包括以下步骤：(1)首先对现有的单线金刚石砂线切割机的卡具进行改造，使卡具的定位面与砂线切割面平行；(2)对多晶材料的沉积表面进行精磨，使晶体表面平整度小于0.02mm；(3)将精磨好的多晶材料固定在卡具上，定位后设定零点；(4)设定切割厚度和片数，进行切割。
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