[发明专利]一种薄板状多晶材料的切割方法无效
| 申请号： | 201110449931.6 | 申请日： | 2011-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN103182749A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 杨海;石红春;赵永田;李文江;张树玉;郝超;黄万才 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;有研光电新材料有限责任公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 程凤儒 |
| 地址： | 100088 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 薄板 多晶 材料 切割 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种薄板状多晶材料的切割方法，其特征在于，该切割方法包括以下步骤：
(1)首先对现有的单线金刚石砂线切割机的卡具进行改造，使卡具的定位面与砂线切割面平行；
(2)对多晶材料的沉积表面进行精磨，使晶体表面平整度小于0.02mm；
(3)将精磨好的多晶材料固定在卡具上，定位后设定零点；
(4)设定切割厚度和片数，进行切割。
2.根据权利要求1所述的切割方法，其特征在于，所述卡具的定位面与砂线切割面之间的平行度为0.02/300。
3.根据权利要求1所述的切割方法，其特征在于，所述多晶材料为薄板状多晶ZnSe材料或多晶ZnS材料。
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