[发明专利]一种磁控管及等离子体加工设备有效
| 申请号： | 201110448612.3 | 申请日： | 2011-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN103177918A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 耿波;赵梦欣;刘旭;王厚工;丁培军 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J25/50 | 分类号： | H01J25/50;H01J23/02;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种磁控管及等离子体加工设备，所述磁控管包括极性相反的内磁极和外磁极，所述内磁极与所述外磁极相互不接触地嵌套在一起，所述内磁极和外磁极在其径向截面上的形状均为螺旋线。该磁控管可以提高靶材的利用率，不仅可以降低等离子体加工设备生产成本，而且可以提高等离子体加工设备的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控管 等离子体 加工 设备 | ||
【主权项】：
一种磁控管，包括极性相反的内磁极和外磁极，所述内磁极与所述外磁极相互不接触地嵌套在一起，其特征在于，所述内磁极和外磁极在其径向截面上的形状均为螺旋线。
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