[发明专利]一种低温漂压阻湿度传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 201110447498.2 | 申请日： | 2011-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN102565142A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 秦明;周永丽;黄见秋 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04;B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 王玉梅 |
| 地址： | 214135 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种低温漂压阻湿度传感器及其制作方法，传感器包括半导体衬底，悬臂梁，压敏电阻以及连接压敏电阻的电极引线；悬臂梁由依次重叠放置的第一湿敏材料层、第一隔离层、第二湿敏材料层和第二隔离层组成；悬臂梁的各层通过旋涂工艺完成，并固定于半导体衬底上；压敏电阻通过离子注入或扩散方式形成于悬臂梁下方的半导体衬底内；再通过对半导体衬底进行光刻刻蚀，使得悬臂梁形成一端固定于半导体衬底上，另一端悬空的状态；而压敏电阻位于悬臂梁固定端的下方，则在环境湿度变化时，悬臂梁会向压敏电阻施加应力，从而可通过测量压阻变化反映环境湿度的变化。本发明制作工艺简单，且悬臂梁结构可有效实现温度补偿，达到传感器的低温漂性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温 漂压阻 湿度 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种低温漂压阻湿度传感器，其特征是，包括半导体衬底，悬臂梁，压敏电阻，以及连接压敏电阻的电极引线；悬臂梁一端固定于半导体衬底的上端面上，另一端悬空； 悬臂梁由从下至上依次重叠放置的第一湿敏材料层、第一隔离层、第二湿敏材料层和第二隔离层组成；第一湿敏材料层与第二湿敏材料层的厚度相同；压敏电阻位于悬臂梁下方的半导体衬底内，且压敏电阻与悬臂梁的第一隔离层相接触。
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