[发明专利]一种单晶硅制绒剂及绒面单晶硅的制备方法有效
| 申请号： | 201110444794.7 | 申请日： | 2011-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN103184523A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 汪琴霞 | 申请（专利权）人： | 浚鑫科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C23F1/32;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 214443 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种单晶硅制绒剂，包含碱性化合物和腐蚀剂；所述腐蚀剂包含以下组分：5wt％～20wt％的尿素；1wt％～10wt％的乳酸钠；余量为水。将单晶硅置于本发明提供的制绒剂中，加热后得到绒面单晶硅。采用本发明提供的单晶硅制绒剂，其中包含的尿素能够水解产生氨气和二氧化碳，有利于制绒过程中产生的气体顺利地溢出，避免了气体对绒面质量的影响；而且本发明提供的腐蚀剂能够有效地控制碱性化合物对硅表面的腐蚀速率；本发明提供的腐蚀剂还具有较强的去污能力，因此，本发明提供的制绒剂能够有效地降低硅片表面出现亮块、白斑、雨点的概率，使得金字塔型绒面的型小且均匀，从而使绒面单晶硅的合格率得到明显的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 制绒剂 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种单晶硅制绒剂，包含碱性化合物和腐蚀剂；所述腐蚀剂包含以下组分：5wt％～20wt％的尿素；1wt％～10wt％的乳酸钠；余量为水。
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