[发明专利]一种太阳能电池前电极的绒面掺铝氧化锌薄膜制备方法

摘要

一种太阳能电池前电极的绒面掺铝氧化锌薄膜制备方法，步骤如下：用金刚砂粉末与水搅拌均匀制备成刻蚀液待用；将玻璃基片放进去离子水中，超声清洗15分钟；再用镊子把玻璃基片夹进装有盐酸的大烧杯中，超声清洗15分钟后放进装有纯乙醇和丙酮的烧杯中清洗待用；将清洗过的玻璃基片放于刻蚀液上，沿顺时针方向均匀用力对玻璃基片进行刻蚀，刻蚀时间为2分钟；刻蚀之后清洗，烘干即可得到绒面玻璃基片；在绒面玻璃基片上真空蒸发镀制AZO薄膜，真空度≤10-3Pa，镀膜时间1个小时；在氮气和空气气氛中，在400℃的温度范围内进行热处理，热处理时间为15min；即镀制成绒面AZO薄膜。本发明不采用酸腐蚀方法，避免了废水对环境的污染，并有效提高了太阳能电池的光电转化效率。

主权项

一种太阳能电池前电极的绒面掺铝氧化锌薄膜制备方法，其特征在于包括以下步骤：(A)用金刚砂粉末6g与6ml水搅拌均匀，制备成刻蚀液待用；(B)将玻璃基片放进去离子水中，超声清洗15分钟；用镊子把玻璃基片夹进装有盐酸的大烧杯中，超声清洗15分钟后放进装有纯乙醇和丙酮的烧杯中清洗，待用；(C)在玻璃基片上均匀旋涂准备好的刻蚀液：将清洗过的玻璃基片轻轻放于刻蚀液上，沿顺时针方向均匀用力对玻璃基片进行刻蚀，刻蚀时间为2min；(D)刻蚀之后进行清洗，烘干，即可得到绒面玻璃基片；(E)在绒面玻璃基片上真空蒸发镀制AZO薄膜，真空度≤10‑3Pa，镀膜时间1h；(F)在氮气和空气气氛中，在400℃的温度范围内进行热处理，热处理时间为15min；即镀制成功绒面AZO薄膜。