[发明专利]一种大尺寸ITO靶材的制备方法

摘要

本发明涉及一种大尺寸ITO靶材的制备方法，属于透明导电薄膜靶材的技术领域。该技术可通过传统的挤出设备、轧制设备、烧结设备来制备大尺寸ITO靶材；其工艺过程是通过对不同粒度的ITO粉进行恰当配比后，添加适当的成型剂，再通过挤出、碾压、脱脂、烧结来获得高致密度ITO靶材。该工艺的优点在于ITO靶材的尺寸可根据市场需求来进行设计。

主权项

一种大尺寸ITO靶材的制备方法，其特征在于具体制备步骤包括如下：（1）取ITO粉，将不同的纳米级别的ITO粉按比例进行配料，然后加入ITO粉5～30wt%的去离子水和1～10wt%的分散剂聚乙二醇，再通过3～15小时的球磨至过200目筛，最后用去离子水洗涤1～3次；（2）将步骤（1）制备的洗涤后的ITO粉过滤后，加入ITO粉干料2～15wt%的粘结剂聚乙烯醇，并搅拌1～3小时；（3）将步骤（2）中得到的混合料在200～600MPa压力条件下挤成片坯，然后在碾压压力为0.05～3Pa的条件下反复碾压2～4次；（4）将经过步骤（3）的坯料置于250～600℃温度范围内，保温3～6小时脱脂；（5）将经过步骤（4）脱脂的坯料送入高温气氛炉中进行烧结，烧结过程中保持通入流量为200～1000ml/min的高纯氧气，烧结条件为：先从室温升温到650℃，保温2小时；然后再升温到1000～1200℃，保温0.5～3小时后，再升温到1500℃～1600℃温度范围内保温3～6小时，最后随炉冷却，制得ITO靶材。