[发明专利]共光路径向剪切数字波面干涉仪

摘要

一种共光路径向剪切数字波面干涉仪涉及一种光学干涉仪波面检测装置，解决了干涉仪的电控、机械系统复杂，研制成本高，难以保证长光路或测试环境的使用条件，很难达到较高的测试精度的问题。该干涉仪应用新型的共光路剪切干涉光路结构，具体包括：半导体激光器、扩束镜、空间滤波器、准直镜、剪切比控制镜、成像系统；该干涉仪还包括：第一偏振片、第二偏振片和胶合棱镜。本发明采用同轴共光路形式，使共光路干涉系统具有对振动、温度和气流的变化能产生彼此共模抑制的优点，可以在隔振条件和恒温条件较低时也能获得稳定的干涉条纹。因此具有抗干扰特性的数字波面共光路径向剪切干涉光路较为适合于长光路条件下光学系统波像差的实时检测与监控。

主权项

共光路径向剪切数字波面干涉仪，该干涉仪包括：半导体激光器(2)、扩束镜(3)、空间滤波器(4)、准直镜(5)、剪切比控制镜(11)、成像系统；其特征在于，该干涉仪还包括：第一偏振片(6)、第二偏振片(9)和胶合棱镜(10)；所述半导体激光器(2)发出激光作为光源，经过扩束镜(3)扩束汇聚，汇聚光通过空间滤波器(4)后，出射光斑的能量分布均匀，经由准直镜(5)准直为平行光后入射进入第一偏振片(6)，形成出射光强较弱的偏振光S光和光强较强偏振光P光；所述S光入射进入胶合棱镜(10)，经过分束面的左侧反射后，透射出胶合棱镜(10)形成极细的平行光作为参考光，所述平行光入射进入被测系统后，经被测系统反射后经过被测系统的焦点发散形成球面波，所述球面波经过剪切比控制镜(11)后形成平行光入射进入胶合棱镜(10)，经由胶合棱镜(10)镜体和分束面的右侧反射并透射出胶合棱镜(10)；所述P光入射进入胶合棱镜(10)，经过分束面的左侧透射后，反射出胶合棱镜(10)，经过剪切比控制镜(11)后和被测系统后发散形成球面波作为测试光，所述球面波入射进入被测系统后，反射形成平行光，所述平行光入射进入胶合棱镜(10)，经由分束面的左侧透射后，透射出胶合棱镜(10)；所述S光和P光经过第二偏振片(9)后调节两者的光强比，通过成像系统后由外部系统接收。