[发明专利]共光路径向剪切数字波面干涉仪

权利要求书

1.共光路径向剪切数字波面干涉仪，该干涉仪包括：半导体激光器(2)、扩束镜(3)、空间滤波器(4)、准直镜(5)、剪切比控制镜(11)、成像系统；其特征在于，该干涉仪还包括：第一偏振片(6)、第二偏振片(9)和胶合棱镜(10)；所述半导体激光器(2)发出激光作为光源，经过扩束镜(3)扩束汇聚，汇聚光通过空间滤波器(4)后，出射光斑的能量分布均匀，经由准直镜(5)准直为平行光后入射进入第一偏振片(6)，形成出射光强较弱的偏振光S光和光强较强偏振光P光；所述S光入射进入胶合棱镜(10)，经过分束面的左侧反射后，透射出胶合棱镜(10)形成极细的平行光作为参考光，所述平行光入射进入被测系统后，经被测系统反射后经过被测系统的焦点发散形成球面波，所述球面波经过剪切比控制镜(11)后形成平行光入射进入胶合棱镜(10)，经由胶合棱镜(10)镜体和分束面的右侧反射并透射出胶合棱镜(10)；所述P光入射进入胶合棱镜(10)，经过分束面的左侧透射后，反射出胶合棱镜(10)，经过剪切比控制镜(11)后和被测系统后发散形成球面波作为测试光，所述球面波入射进入被测系统后，反射形成平行光，所述平行光入射进入胶合棱镜(10)，经由分束面的左侧透射后，透射出胶合棱镜(10)；所述S光和P光经过第二偏振片(9)后调节两者的光强比，通过成像系统后由外部系统接收。

2.如权利要求1所述的共光路径向剪切数字波面干涉仪，其特征在于，所述外部系统包括：目视接收系统、CCD(12)接收器和计算机处理系统；所述目视接收系统可通过裸眼直接观测到干涉条纹；所述CCD(12)接收器接收到干涉条纹的图像后由计算机处理系统进行处理并计算。

3.如权利要求1所述的共光路径向剪切数字波面干涉仪，其特征在于，所述胶合棱镜(10)由一等腰直角三角形棱镜和一平行四边形棱镜胶合组成偏振分光镜。

4.如权利要求3所述的共光路径向剪切数字波面干涉仪，其特征在于，所述等腰直角三角形的斜边与平行四边形棱镜的一边胶合形成胶合面，两者组成一个直角梯形。