[发明专利]微结构加工方法有效

专利信息
申请号: 201110439939.4 申请日: 2011-12-26
公开(公告)号: CN103173724A 公开(公告)日: 2013-06-26
发明(设计)人: 刘若鹏;赵治亚;法布里齐亚·盖佐;何雪涵 申请(专利权)人: 深圳光启高等理工研究院
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/04;C23C14/14
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 柏尚春
地址: 518000 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种超材料的微结构加工方法,该方法采取预种晶种激光诱导化学镀的方式,首先将PVP与AgNO3溶解于乙醇中,均匀加热得到棕色的金属胶体溶液,然后将其冷却至室温,涂布在基片的表面并烘干;接着用激光束在基片上写出微结构图案;接着再用清洗液清洗基片,除去未经照射的PVP薄膜;最后将清洗好的基片置于预先配置的化学镀液中,得到微结构。根据本发明的方法来加工微结构,可快速简单高效而精确地在尤其是柔性的基底材料上制备金属微结构。
搜索关键词: 微结构 加工 方法
【主权项】:
一种微结构加工方法,该方法包括以下步骤:a、将PVP与AgNO3溶解于乙醇中,将此溶液均匀加热,得到棕色的金属胶体溶液;b、将所述金属胶体溶液冷却至室温,涂布在所述基片的表面并烘干;c、配置化学镀液;d、用激光束在所述基片上写出微结构图案;e、用清洗液清洗所述基片,除去未经照射的PVP薄膜;f、将清洗好的基片置于所述化学镀液中,得到微结构。
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