[发明专利]一种带有压力膜的谐振梁压力传感器无效
| 申请号： | 201110431615.6 | 申请日： | 2011-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN103162871A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 刘江辽;谢庆雄 | 申请（专利权）人： | 西安威正电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/10 | 分类号： | G01L1/10 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710077 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种带有压力膜的谐振梁压力传感器，包括衬底，在衬底和谐振梁中间的衬底上设有压力膜，本发明能够实现梁膜一体化，生产是一次健合即可，制作工艺简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 压力 谐振 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种带有压力膜的谐振梁压力传感器，包括衬底(1)，其特征在于：在衬底(1)和谐振梁(3)中间的衬底(1)上设有压力膜(2)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安威正电子科技有限公司，未经西安威正电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110431615.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：基于防堵设计并能增大流量的净水机前置过滤装置
- 下一篇：一种药剂瓶
