[发明专利]一种检测基质内缺陷的方法及装置有效
| 申请号： | 201110430121.6 | 申请日： | 2011-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN103175837A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 林晓峰;刘家朋 | 申请（专利权）人： | 法国圣戈班玻璃公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/47;G01N21/41 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 朱胜;李春晖 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 一种检测基质内缺陷的方法及装置。其中，检测基质内缺陷的方法包括：提供检测光束和参考光束；将所述检测光束自所述基质第一表面的入射点沿光学检测路径入射至第二表面上与入射点一一对应的反射点，分别以检测光束经过的光学检测路径上各点处产生的背向散射光的集合作为该点对应的样本光束；分别采集各样本光束和所述参考光束相互干涉形成的干涉信号，以获取光学检测路径上各点的背向散射光的光强信息，与该光学检测路径上各点之间的光学长度信息；根据所述光学检测路径上各点的背向散射光的光强信息，判断所述光学检测路径上是否存在缺陷。本发明的检测方法能正确区分基质内缺陷的类型，提高了检测缺陷的正确率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 基质 缺陷 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种检测基质内缺陷的方法，所述基质具有相对的第一表面和第二表面，所述第一表面上分布多个入射点，其特征在于，所述方法包括：提供检测光束和参考光束；将所述检测光束自所述基质第一表面的入射点沿光学检测路径入射至第二表面上与入射点一一对应的反射点，分别以检测光束经过的光学检测路径上各点处产生的背向散射光的集合作为该点对应的样本光束；分别采集各样本光束和所述参考光束相互干涉形成的干涉信号，以获取光学检测路径上各点的背向散射光的光强信息，与该光学检测路径上各点之间的光学长度信息；根据所述光学检测路径上各点的背向散射光的光强信息，判断所述光学检测路径上是否存在缺陷。
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