[发明专利]涂布机无效
| 申请号： | 201110429149.8 | 申请日： | 2011-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN102540579A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 徐大勋 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1339 | 分类号： | G02F1/1339;G02F1/1341;B05C5/00;B05C11/00 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 张文;郭放 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种涂布机，包括：涂布头单元，其包括喷嘴，流体从喷嘴涂布到基板上；以及气泡检测单元，其根据物理量的变化来检测流体内的气泡，其中，气泡检测单元向涂布头单元内的流体发射微波，上述物理量的变化由微波通过涂布头单元内的流体引起。 | ||
| 搜索关键词： | 涂布机 | ||
【主权项】：
一种涂布机，包括：涂布头单元，所述涂布头单元包括喷嘴，流体从所述喷嘴涂布到基板上；以及气泡检测单元，所述气泡检测单元根据物理量的变化来检测流体内的气泡，其中，所述气泡检测单元向所述涂布头单元内的流体发射微波，所述物理量的变化由所述微波通过所述涂布头单元内的流体引起。
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