[发明专利]一种采用磁镜场约束的等离子体密封窗及其密封方法无效
| 申请号： | 201110427059.5 | 申请日： | 2011-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN102523673A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 朱昆;黄胜;史本良;陆元荣;颜学庆;王智 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H05H1/14 | 分类号： | H05H1/14;H05H7/14 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 张肖琪 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用磁镜场约束的等离子体密封窗及其密封方法。本发明的等离子体密封窗包括：等离子体密封窗窗体，窗体中间形成的等离子体通道；在等离子体通道的一端设置有阴极；在窗体的另一端设置有阳极；在阴极和阳极上连接有密封窗电源；在窗体外设置有约束磁铁；给约束磁铁供电的磁铁电源，以及真空泵。本发明采用约束磁铁产生磁镜场来约束等离子体密封窗内的离子，磁镜场的结构是两边高，中间低的磁场位型，可以约束等离子体通道内的等离子体，只有高于一定能量的离子和电子可以离开等离子体通道。从而使等离子体密封窗内的离子和电子离开等离子体密封窗的速度变慢，达到增加等离子体密封窗的压强差，降低等离子体密封窗的功耗的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 磁镜 约束 等离子体 密封 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种采用磁镜场约束的等离子体密封窗，其特征在于，所述等离子体密封窗包括：等离子体密封窗窗体，窗体是由多片中间衬有绝缘片(2)的铜板(1)组成，每片铜板(1)与绝缘片(2)中间均开有孔径相同的小孔，多片铜板和绝缘片的小孔形成了等离子体通道(3)；在等离子体通道(3)的一端设置有阴极(4)；在窗体的另一端设置有阳极(6)；给所述阴极(4)和阳极(6)供电的密封窗电源(8)；在窗体外设置有约束磁铁(7)，所述约束磁铁(7)产生一个与等离子通道(3)相匹配的磁镜场，加在等离子体通道上；给约束磁铁供电的磁铁电源(9)；以及真空泵(10)。
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