[发明专利]玻璃基板移载装置

摘要

本发明为一种玻璃基板移载装置，供于多个反应炉内，置入或取出一石英架，其包含一轨道、一台车、一旋转组件与一伸缩取物架，其中该多个反应炉分设于该轨道的两侧，该台车设有四轨道轮，该四轨道轮设于该轨道上，且该台车设有多个马达，该多个马达同步驱动该四轨道轮，而该旋转组件设置于该台车，且该伸缩取物架设置于该旋转组件上，因而通过该台车于该轨道上的走行与该台车的转动，即可让该伸缩取物架依序对准该多个反应炉，以伸入该反应炉内而置入或取出该石英架，据此增加可对应使用的反应炉数量，而充分发挥该玻璃基板移载装置的利用效率，且台车于该轨道上通过该多个马达的同步驱动而快速走行，故可增加产量，满足使用上的需求。

主权项

一种玻璃基板移载装置，供于多个反应炉内，置入或取出一石英架，其特征在于，包含：一轨道，该多个反应炉分设于该轨道的两侧；一台车，该台车设有四轨道轮，该四轨道轮设于该轨道上，且该台车设有多个马达，该多个马达同步驱动该四轨道轮；一旋转组件，该旋转组件设置于该台车；以及一伸缩取物架，该伸缩取物架设置于该旋转组件上。