[发明专利]基于SU-8聚合物的微型压力传感器无效
| 申请号： | 201110422263.8 | 申请日： | 2011-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN102494833A | 公开（公告）日： | 2012-06-13 |
| 发明（设计）人： | 郑晓虎 | 申请（专利权）人： | 淮阴工学院 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 223003*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及的微型压力传感器，属于检测技术领域。传感器采用电铸微尺度平面电感与可变电容相串联的结构，可变电容作为敏感单元，高弹性材料PDMS(聚二甲基硅氧烷)作为电容极板间的填充介质。SU-8聚合物作为传感器外部接触材料。包括以下实施步骤：1.首先在硅基底及玻璃基底上制作出传感器上下部分，通过PDMS，将上下两部分连接。2.当外界压力发生变化，电容极板间弹性介质PDMS发生变形，使电容值发生变化，从而电铸微平面电感与可变电容串联的电路谐振频率发生变化。通过测量谐振频率值可以得到作用于传感器上流体压力的大小。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 su 聚合物 微型 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种基于SU‑8聚合物的微型压力传感器，其特征包括：(1)、采用SU‑8聚合物作为传感器的外部材料；(2)、采用PDMS(聚二甲基硅氧烷)作为传感器敏感单元的变形介质；(3)、采用可变电容作为传感器压力敏感单元；(4)、采用电铸微平面电感与可变电容相串联的微型压力传感器结构。
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