[发明专利]粒子束显微镜及操作粒子束显微镜的方法

摘要

本发明涉及一种操作粒子束显微镜的方法，其中所述方法包括：探测从结构发出的光线和/或从结构发出的粒子的至少之一，其中所述结构包括至少下述之一：物体的表面的至少一部分和粒子束显微镜的载物台的表面的至少一部分；根据探测到的光线和粒子的至少之一生成所述结构的表面模型；相对于目标区域确定所述结构的表面模型的位置和定向；相对于所述结构的表面模型确定测量部位；以及，根据生成的所述结构的表面模型、确定的所述结构的表面模型的位置和定向以及确定的测量部位定位物体。

主权项

一种操作粒子束显微镜的方法，所述粒子显微镜包括具有目标区域(OR)的物镜(30)，其中所述方法包括：对从一结构发出的光线和/或从所述结构发出的粒子进行探测(100)，其中所述结构包括物体(10)的表面的至少一部分和/或所述粒子束显微镜的载物台(20)的表面的至少一部分；根据所探测到的光线和/或粒子对所述结构的表面模型(90)进行生成(101)；相对于目标区域(OR)对所述结构的表面模型(90)的位置和定向进行确定(102)；相对于所述结构的表面模型(90)对测量部位(P)进行确定(103)；以及根据所生成的所述结构的表面模型(90)、根据所确定的所述结构的表面模型(90)的位置和定向以及根据所确定的测量部位(P)来对物体(10)进行定位(105)。