[发明专利]光学薄膜损伤阈值的测试系统有效
| 申请号： | 201110418574.7 | 申请日： | 2011-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN102589848A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 樊仲维;朱光 | 申请（专利权）人： | 北京国科世纪激光技术有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100192 北京市海淀区西*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光学薄膜损伤阈值的测试系统。该光学薄膜损伤阈值的测试系统包括一个脉冲激光器、一个衰减片、一个会聚透镜、一个窗口镜、一个分束镜、一个全反镜、一个能量计、一个第一图像采集装置和一个第二图像采集装置，所述激光器输出的光束经过所述衰减片衰减后透射到所述会聚透镜，经过所述会聚透镜会聚后的光束依次经过所述窗口镜、所述分束镜透射并经过所述全反镜反射进入到待测光学薄膜上，经过所述窗口镜反射的光束进入所述第一图像采集装置，经过所述分束镜反射的光束进入所述能量计，所述第二图像采集装置采集所述待测光学薄膜表面的图像信息。本发明测量结果准确、便于安装及调节，并且其应用范围广泛。 | ||
| 搜索关键词： | 光学薄膜 损伤 阈值 测试 系统 | ||
【主权项】：
一种光学薄膜损伤阈值的测试系统，其特征在于，该测试系统包括一个脉冲激光器、一个衰减片、一个会聚透镜、一个窗口镜、一个分束镜、一个全反镜、一个能量计、一个第一图像采集装置和一个第二图像采集装置，所述激光器输出的光束经过所述衰减片衰减后透射到所述会聚透镜，经过所述会聚透镜会聚后的光束依次经过所述窗口镜、所述分束镜透射并经过所述全反镜反射进入到待测光学薄膜上，经过所述窗口镜反射的光束进入所述第一图像采集装置，经过所述分束镜反射的光束进入所述能量计，所述第二图像采集装置采集所述待测光学薄膜表面的图像信息。
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