[发明专利]正型感光性树脂组成物、硬化膜及其形成方法、层间绝缘膜以及显示装置有效
申请号: | 201110415283.2 | 申请日: | 2011-12-13 |
公开(公告)号: | CN102540726A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 山田悟;山﨑健太;杉原幸一;柏木大助;川岛敬史;霜山达也;真崎庆央;下野胜弘 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | G03F7/039 | 分类号: | G03F7/039;G03F7/00;G02F1/1333;H01L27/32;H01L21/027 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 经志强 |
地址: | 日本东京都港*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种正型感光性树脂组成物、硬化膜及其形成方法、层间绝缘膜以及显示装置,所述正型感光性树脂组成物各种性能综合优异。本发明的正型感光性树脂组成物的特征在于:包含含有丁氧基甲基丙烯酰胺等的碱可溶性树脂及感放射线酸产生剂。 | ||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组成 硬化 及其 形成 方法 绝缘 以及 显示装置 | ||
【主权项】:
1.一种正型感光性树脂组成物,其特征在于:包含(A)含有通式(1)所表示的结构单元的碱可溶性树脂及(C)感放射线酸产生剂:通式(1)
式中,R1表示氢原子或甲基,R2表示碳数1~9的烷基。
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