[发明专利]同步抑制磁悬浮分子泵转子次临界振动的方法和系统

摘要

本发明公开了一种同步抑制磁悬浮分子泵转子次临界振动的方法，通过对磁悬浮分子泵转子跌落后产生的转子次临界振动信号进行同步采样获得转子次临界振动的幅值、频率和相位，并据此输出补偿力抑制转子次临界振动。该方法实现了对次临界振动信号的准确同步，可快速实现对所述转子次临界振动的抑制。

主权项

1.一种同步抑制磁悬浮分子泵转子次临界振动的方法，其特征在于：依次包括如下步骤：①磁悬浮分子泵转子失稳跌落后，磁悬浮分子泵控制器控制数字信号处理芯片获取所述分子泵转子位移信号，并对所述位移信号进行快速傅立叶变换，通过分析转子振动频谱得到所述分子泵转子次临界振动的频率f₀和幅值A₀；②以径向磁轴承定子内圆中心为原点建立直角坐标系，设定转子次临界振动轨迹上的位置A为转子次临界振动同步的起始点，当转子位移矢量与坐标轴X正向夹角为预先设定的夹角Φ时即认为转子运动到A点，获取A点处所述分子泵转子次临界振动的相位当所述分子泵转子运动到所述位置A时，根据所述分子泵转子次临界振动的频率f₀、幅值A₀和相位按照正弦规律输出补偿力抑制所述转子次临界振动；③当所述分子泵转子再一次运动到所述位置A时，启动数字信号处理芯片在转子下个次临界振动周期内对转子位移做单一频率快速傅立叶变换变换，则可得到转子次临界振动幅值A_i和相位其中，单一频率快速傅立叶变换的频率设为当前转子次临界频率f_i；磁悬浮分子泵控制器将当前转子次临界振动幅值A_i和相位与上个次临界振动周期内的幅值A_i-1和相位进行比较，根据比较结果对下个次临界振动周期的补偿力幅值和相位进行修正；重复此步骤，直到经过预定周期T；④数字信号处理芯片每隔预定周期T对转子位移信号做一次快速傅立叶变换获得新的转子次临界振动频率f_j，将下个次临界振动周期的补偿力频率设定为f_j；⑤磁悬浮分子泵控制器在每个次临界振动周期均判断所述分子泵转子次临界振动的幅值是否减小到预设阈值；当检测到转子次临界振动幅值已小于预设阈值，且所述分子泵转子已经彻底脱离保护轴承时，则完成所述分子泵转子次临界振动的抑制；否则继续重复执行上述步骤③-④。