[发明专利]氧化硅玻璃坩埚的制造方法,氧化硅玻璃坩埚有效
| 申请号： | 201110404846.8 | 申请日： | 2011-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN102531344A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 须藤俊明;吉冈拓磨;铃木光一;山崎真介 | 申请（专利权）人： | 日本超精石英株式会社 |
| 主分类号： | C03B19/09 | 分类号： | C03B19/09 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 孟锐 |
| 地址： | 日本国秋田县*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种利用废玻璃制造具有透明层的氧化硅玻璃坩埚的方法。根据本发明，一种氧化硅玻璃坩埚的制造方法，用于制造单晶或多晶硅锭，所述坩埚具备玻璃化工序，其中，对具有坩埚形状的氧化硅粉末烧结体，从坩埚内面侧对所述氧化硅粉末烧结体进行电弧熔化而使对所述氧化硅粉末烧结体的厚度方向上的全部或局部进行玻璃化，并且具备：(1)进行所述电弧熔化时从外面侧对所述氧化硅粉末烧结体进行减压，(2)进行所述电弧熔化时在所述氧化硅粉末烧结体的内面散布氧化硅粉而在内面侧形成合成氧化硅玻璃层，之中的至少一种工序。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 玻璃 坩埚 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于制造单晶或多晶硅锭的氧化硅玻璃坩埚的制造方法，其特征在于：具备玻璃化工序，其中，对具有坩埚形状的氧化硅粉末烧结体，从内面侧对所述氧化硅粉末烧结体进行电弧熔化而对所述氧化硅粉末烧结体的厚度方向上的全部或局部进行玻璃化，并且具备：(1)进行所述电弧熔化时从外面侧对所述氧化硅粉末烧结体进行减压，(2)进行所述电弧熔化时在所述氧化硅粉末烧结体的内面散布合成氧化硅粉而在内面侧形成合成氧化硅玻璃层，之中的至少一种工序。
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