[发明专利]一种光学球面曲率半径的测量方法有效
| 申请号： | 201110401073.8 | 申请日： | 2011-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN102519397A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 李杰;伍凡;吴时彬;匡龙;董永春 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01B11/255 | 分类号： | G01B11/255 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 成金玉 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种光学球面曲率半径的测量方法，属于光学测试技术领域。本方法是：基于激光球面干涉定位的原理，利用高精度标准球实现被测球面曲率中心处的定位，使用激光跟踪仪测量曲率中心点至与干涉仪共焦的镜面之间距离，通过数据处理即可得到光学球面的曲率半径。本发明使用高精度标准球实现镜面曲率中心点的定位及利用激光跟踪仪进行相对距离的测量，测量精确、简单，费用低廉，对大口径、长曲率光学球面半径的高精度检测有重要的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 球面 曲率 半径 测量方法 | ||
【主权项】：
一种光学球面曲率半径的测量方法，其特征在于实现步骤如下：步骤S1，通过调整干涉仪的空间位置，使干涉仪出射波前与光学球面共焦；步骤S2，通过调整标准球的空间位置，使干涉仪出射波前焦点与标准球球心重合；步骤S3，使用激光跟踪仪测量标准球球心位置至光学球面的距离；步骤S4，使用干涉仪数据补偿空间位置离焦误差，补偿靶球半径，计算曲率半径。
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