[发明专利]多晶硅铸锭用坩埚及其制备方法有效
| 申请号： | 201110397705.8 | 申请日： | 2011-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN102409394A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 王宇湖 | 申请（专利权）人： | 苏州纳迪微电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 范晴 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅铸锭用坩埚及其制备方法，包括坩埚本体，其特征在于所述坩埚本体中组分以重量百分比含量计包括：Si3N4 60%~98%；SiO2和/或SiNxOy 2%~40%；其中x、y满足关系式：3×x+2×y=4。该多晶硅铸锭用坩埚可以用于多晶硅的多次铸锭，反复使用次数在20次以上。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 铸锭 坩埚 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭用坩埚，包括坩埚本体，其特征在于所述坩埚本体中组分以重量百分比含量计包括：Si3N4 60%~98%； SiO2和/或SiNxOy 2%~40%；其中x、y满足关系式：3×x +2×y = 4。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州纳迪微电子有限公司，未经苏州纳迪微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110397705.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：齿座及其制备方法
- 下一篇：利用地热向沼气池壁内的管道网输送温水的增效装置
