[发明专利]图案形成装置的支撑有效
| 申请号： | 201110393549.8 | 申请日： | 2011-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN102566302B | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 达丽娅·阿明-沙赫迪 | 申请（专利权）人： | ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 吴敬莲 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及图案形成装置的支撑。提供多种布置以在光刻装置的图案形成装置平台的移动期间基本上消除图案形成装置的滑移。一种这样的布置包括保持系统和支撑运送装置。保持系统包括支撑装置、保持装置以及磁致伸缩致动器。保持装置可释放地将图案形成装置耦合至支撑装置。磁致伸缩致动器被可释放地耦合至图案形成装置以施加加速力至图案形成装置。支撑运送装置被耦合并与通过磁致伸缩致动器施加力同时地移动支撑装置以防止图案形成装置滑移。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 装置 支撑 | ||
【主权项】：
一种图案形成装置运送系统，包括：保持系统，具有支撑装置，保持装置，配置成将图案形成装置可释放地耦合至支撑装置，和磁致伸缩致动器，配置成提供力至图案形成装置，所述磁致伸缩致动器包括第一磁场源和包括磁致伸缩材料的第一推杆，并且其中第一磁场源产生增加第一推杆的长度的磁场；和支撑运送装置，配置成与磁致伸缩致动器提供力至图案形成装置同时地移动支撑装置，以便基本上消除在支撑装置的移动期间图案形成装置的滑移，其中在施加至磁致伸缩致动器产生所述力的磁场被移除时，自动地在磁致伸缩致动器的所述第一推杆的远端和所述图案形成装置之间形成初始间隙。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML控股股份有限公司，未经ASML控股股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110393549.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
