[发明专利]图案形成装置的支撑

权利要求书

1.一种图案形成装置运送系统，包括：

保持系统，具有

支撑装置，

保持装置，配置成将图案形成装置可释放地耦合至支撑装置，和

磁致伸缩致动器，配置成提供力至图案形成装置，所述磁致伸缩致动器包括第一磁场源和包括磁致伸缩材料的第一推杆，并且其中第一磁场源产生增加第一推杆的长度的磁场；和

支撑运送装置，配置成与磁致伸缩致动器提供力至图案形成装置同时地移动支撑装置，以便基本上消除在支撑装置的移动期间图案形成装置的滑移，

其中在施加至磁致伸缩致动器产生所述力的磁场被移除时，自动地在磁致伸缩致动器的所述第一推杆的远端和所述图案形成装置之间形成初始间隙。

2.如权利要求1所述的系统，其中磁场源包括线圈。

3.如权利要求1所述的系统，其中所述磁致伸缩致动器还包括第二磁场源和包括磁致伸缩材料的第二推杆，并且其中第二磁场源产生增加第二推杆的长度的磁场。

4.如权利要求1所述的系统，其中所述磁致伸缩致动器还包括配置成朝向图案形成装置偏压第一推杆的偏压装置，以及配置成将第一推杆的一部分可释放地耦合至支撑装置的夹持装置。

5.如权利要求4所述的系统，其中所述偏压装置还配置成使第一推杆离开图案形成装置缩回。

6.如权利要求1所述的系统，其中所述保持装置包括用以将图案形成装置可释放地耦合至支撑装置的真空系统。

7.如权利要求1所述的系统，其中公共控制信号控制磁致伸缩致动器和支撑运送装置。

8.一种用于光刻设备的图案形成装置平台系统，包括：

平台，配置成将图案形成装置可释放地耦合至平台；

平台控制系统，配置成控制平台的移动；和

磁致伸缩控制系统，配置成施加力至图案形成装置，以便基本上消除在所述平台的移动期间图案形成装置的滑移，所述磁致伸缩控制系统包括第一磁场源和包括磁致伸缩材料的推杆，并且其中第一磁场源产生改变所述推杆的长度的磁场，

其中在施加至磁致伸缩控制系统产生所述力的磁场被移除时，自动地在磁致伸缩控制系统的所述推杆的远端和所述图案形成装置之间形成初始间隙。

9.如权利要求8所述的系统，其中所述平台控制系统包括电磁致动器。

10.一种用于减小在图案形成装置平台的移动期间图案形成装置的滑移的方法，包括：

用支撑装置支撑图案形成装置；

同时地，用保持装置将图案形成装置保持至支撑装置；

使用第一移动装置移动支撑装置；和

与使用第一移动装置移动支撑装置同时地使用磁致伸缩致动器施加力至图案形成装置以便基本上消除在所述支撑装置的移动期间图案形成装置的滑移，所述磁致伸缩致动器包括第一磁场源和包括磁致伸缩材料的推杆，并且其中第一磁场源产生改变所述推杆的长度的磁场；

其中在施加至磁致伸缩致动器产生所述力的磁场被移除时，自动地在磁致伸缩致动器的推杆的远端和所述图案形成装置之间形成初始间隙。

11.如权利要求10所述的方法，还包括：用公共信号控制第一移动装置和磁致伸缩致动器。

12.如权利要求10所述的方法，其中使用磁致伸缩致动器施加力至图案形成装置包括：产生磁场以增加包括磁致伸缩材料的推杆的长度，且其中推杆可释放地与图案形成装置耦合。

13.一种图案形成装置运送系统，包括：

保持系统，具有

支撑装置，

保持装置，配置成将图案形成装置可释放地耦合至支撑装置，和

压电致动器，配置成提供力至图案形成装置，所述压电致动器包括压电元件、偏压装置以及配置成将压电元件的近端部分可释放地耦合至支撑装置的夹持装置；和

支撑运送装置，配置成与压电致动器提供力至图案形成装置同时地移动支撑装置，以便基本上消除在支撑装置的移动期间图案形成装置的滑移，

其中在施加至压电致动器产生所述力的电场被移除时，自动地在压电致动器的压电元件的远端和所述图案形成装置之间形成间隙。