[发明专利]一种射频功率信号源真空引入电极

摘要

本发明涉及一种甚高频功率源信号引入真空腔体的电极，广泛应用于太阳能电池、液晶显示器，属于电学领域。目的为大面积薄膜沉积，提供一种用分体式电极连接装置进入真空腔体内，替代传统的一体式射频电极。技术特征是电极由两个分离的内部电极和外部电极构成，阳极与真空腔体密封接地。外部阴极内的导电螺杆贯通绝缘片至内部阴极，并与内部阴极连接，内部阴极头部接阴极靶板。本发明的有益效果，提高了功率稳定性和大面积薄膜沉积速率。减少了零部件损耗，使电极体的阴极使用寿命延长。

主权项

一种射频功率信号源真空引入电极，包括射频功率电源，匹配器，电极引入真空腔体，其特征在于接入真空腔体的电极是真空电极，该电极由分离的内外两个屏蔽、密封部件构成，外电极部件和内电极部件分别由外部阳极和外部阴极、内部阳极和内部阴极构成；阳极部件安装在真空腔体壁上接地；阴极部件由外阴极和内阴极构成，内部阴极头部接阴极靶板。