[发明专利]一种多电极束流聚焦调节装置无效
| 申请号： | 201110390385.3 | 申请日： | 2011-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN103137407A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 张继恒 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/21 | 分类号： | H01J37/21 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多电极束流聚焦调节装置，包括：绝缘腔体(1)、上电极组(2)、下电极组(3)、左电极(4)、右电极(5)、程控数字电源(6)。其特征在于上电极组(2)和下电极组(3)两排电极一一相对，均匀安装在绝缘腔体(1)上，上电极组(2)、下电极组(3)中的每个电极和左电极(4)及右电极(5)分别通过导线和程控数字电源(6)的一个电压输出端子连接，通过调节各个电机的电压极性及大小来改变空间点位分布，从而达到调节束流的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电极 聚焦 调节 装置 | ||
【主权项】：
本发明提供一种多电极束流聚焦调节装置，包括：绝缘腔体(1)、上电极组(2)、下电极组(3)、左电极(4)、右电极(5)、程控数字电源(6)。
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