[发明专利]一种在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法

摘要

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法。本发明一种在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法通过在制造执行系统中集成一种针对大批量产品批的自动寻找并设置最佳安全站点的模块，从而解决了现有制造执行系统中在处置大规模事件（比如年度维修）时需要花大量的人力来对每个硅片批进行人工干预处置、不便利、易出错及不能出具详细的执行状态报告等问题。

主权项

一种在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1：在一设置有预停止模块的制造执行系统中，根据工艺需求设置每个站点的安全等级；步骤S2：于制造执行系统的操作模块上设置筛选项，以控制产品批的预停止；步骤S3：制造执行系统根据所定义的产品批通过筛选项为每个产品批设置对应的预停止站点；步骤S4：当需要进行预停止时，工艺人员通过操作模块的填写项设置预停止信息，制造执行系统根据操作模块的设置执行预停止；其中，制造执行系统还设置有步骤计算模块。