[发明专利]闪烁器-光传感器夹层及其制造方法以及辐射检测器有效
申请号: | 201110383817.8 | 申请日: | 2011-11-28 |
公开(公告)号: | CN102590849A | 公开(公告)日: | 2012-07-18 |
发明(设计)人: | M.福克斯;K.洛瓦克;A.普雷斯勒 | 申请(专利权)人: | 西门子公司 |
主分类号: | G01T1/20 | 分类号: | G01T1/20;H01L31/0232;H01L31/18 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 谢强 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及闪烁器-光传感器夹层的制造方法、闪烁器-光传感器夹层和带有其的辐射检测器,其中所述闪烁器-光传感器夹层通过如下方法产生:在至少单侧地以第二保护薄膜(1.3)覆盖的粘合剂层(1.2)的侧面上将第一支架(2)粘在所述粘合剂层(1.2)上,其中第一支架(2)的大小在平面内包围了待制造的闪烁器-光传感器夹层;将所述第一支架(2)置于平的支承了第一功能层(3)的底座(9)上;将在该第一支架(2)上绷紧的所述粘合剂层(1.2)和所述第一功能层(3)平面连结;从该粘合剂层(1.2)揭去所述第二保护薄膜(1.3);和将第二功能层(7)与所述第一功能层(3)通过位于其间的粘合剂层(1.2)连结。 | ||
搜索关键词: | 闪烁 传感器 夹层 及其 制造 方法 以及 辐射 检测器 | ||
【主权项】:
一种使用在用于离子辐射的像素分辨的辐射检测器内的闪烁器‑光传感器夹层(8)的制造方法,其中,将闪烁器层和光传感器层交替地用作第一功能层(3)和第二功能层(7),所述方法具有如下方法步骤:1.1在至少单侧地以第二保护薄膜(1.3)覆盖的粘合剂层(1.2)的侧面上,将第一支架(2)粘在所述粘合剂层(1.2)上,其中,所述第一支架(2)的大小在平面内包围了待制造的闪烁器‑光传感器夹层(8),1.2将该第一支架(2)置于平面地支承了第一功能层(3)的底座(9)上,1.3将在该第一支架(2)上绷紧的该粘合剂层(1.2)和所述第一功能层(3)平面连结,1.4从该粘合剂层(1.2)揭去所述第二保护薄膜(1.3),1.5将所述第二功能层(7)与所述第一功能层(3)通过位于其间的粘合剂层(1.2)连结。
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