[发明专利]一种制备Sn-Sb-Cu巴氏合金薄膜方法无效
| 申请号： | 201110383508.0 | 申请日： | 2011-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN102418077A | 公开（公告）日： | 2012-04-18 |
| 发明（设计）人： | 李长生;胡志立;唐华 | 申请（专利权）人： | 镇江中孚复合材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/14 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 邱兴天 |
| 地址： | 212006 江苏省镇江市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备Sn-Sb-Cu巴氏合金薄膜方法，包括：（1）对Gr40钢表面抛光处理，用丙酮，酒精和去离子水清洗，干燥；（2）在Ar气氛中，在40Cr钢衬底上开启Cu靶制备Cu的过渡层；（3）在Ar气氛中，开启Cu靶和Sn-Sb合金靶，磁控溅射制备巴氏合金薄膜。本制备方法具有原料价廉易得、简便、成本低、工艺简单、参数易控，适合大规模的工业生产；所制备的Sn-Sb-Cu巴氏合金薄膜在油润滑下有良好的减摩耐磨性，提高材料机械使用寿命，降低磨损。从而在轴承类机械制造，航空航天具有广泛的工业用途。具有很好的实用性，有很好的经济前景，能产生很好的社会效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 sn sb cu 合金 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种制备Sn‑Sb‑Cu巴氏合金薄膜方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）对Gr40钢表面抛光处理，用丙酮，酒精和去离子水清洗，干燥；（2）在Ar气氛中，在40Cr钢衬底上开启Cu靶制备Cu的过渡层；（3）在Ar气氛中，开启Cu靶和Sn‑Sb合金靶，磁控溅射制备巴氏合金薄膜。
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