[发明专利]制造超声换能器组装件的方法无效
| 申请号： | 201110377877.9 | 申请日： | 2011-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN102527627A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | C·E·鲍姆加特纳 | 申请（专利权）人： | 通用电气公司 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 柯广华;朱海煜 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明名称为“制造超声换能器组装件的方法”。提供了一种制造多个超声换能器组装件(10)的方法。该方法包括：将可图案化材料(20)的一个或多个层施加到包含多个管芯(32)的晶圆(30)的至少部分表面。该方法进一步包括：图案化可图案化材料(20)以定义多个开口(20)，在开口(22)的相应一些中部署超声阵列(40)，将超声阵列(40)耦合到相应管芯(32)以形成相应超声换能器组装件(10)，以及分离超声换能器组装件以形成单独超声换能器组装件(10)，其中每个开口与管芯(32)中相应的一个对齐。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 超声 换能器 组装 方法 | ||
【主权项】：
一种制造多个超声换能器组装件(10)的方法，所述方法包括：将可图案化材料(20)的一个或多个层施加到包含多个管芯(32)的晶圆(30)的至少部分表面；图案化所述可图案化材料(20)以定义多个开口(22)，其中所述开口的每个与所述管芯(32)中相应的一个对齐；将多个超声阵列(40)部署在所述开口(22)的相应一些中；将所述超声阵列(40)耦合到所述相应管芯(32)以形成相应的所述超声换能器组装件(10)；以及分离所述超声换能器组装件以形成单独的超声换能器组装件(10)。
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