[发明专利]一种利用测试针痕确认打点第一点的方法有效
| 申请号： | 201110374789.3 | 申请日： | 2011-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN102445621A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | 张亚军;朱卫良;武乾文;浦刚 | 申请（专利权）人： | 无锡中微腾芯电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00 |
| 代理公司： | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人： | 顾吉云 |
| 地址： | 214061 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种利用测试针痕确认打点第一点的方法，其在确保的打点第一点的位置准确的同时，可减少打点器的使用，降低设备成本。其特征在于：其利用测试针痕结合相对坐标法确定打点第一点，其具体步骤如下：a、在全自动探针台上进行圆片测试菜单的制作，确保有效测试区域内的针痕清晰；b、将测试完毕的菜单用于生产，每片圆片需要认真核对参考针痕并记录当前坐标位置(x1,y1)，同时记录下实际打点第一点的坐标(x2,y2)，记录下相对位移量|x1-x2|和|y1-y2|以及相对位移的方向；c、在离线打点环节，通过显微镜先确定参考针痕位置，再根据相对位移量|x1-x2|和|y1-y2|定位打点第一点，并完成离线打点动作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 测试 确认 打点 一点 方法 | ||
【主权项】：
一种利用测试针痕确认打点第一点的方法， 其特征在于：其利用测试针痕结合相对坐标法确定打点第一点，其具体步骤如下：a、在全自动探针台上进行圆片测试菜单的制作，确保有效测试区域内的针痕清晰；b、将测试完毕的菜单用于生产，每片圆片需要认真核对参考针痕并记录当前坐标位置(x1,y1)，同时记录下实际打点第一点的坐标(x2,y2)，记录下相对位移量|x1‑x2|和|y1‑y2|以及相对位移的方向；c、在离线打点环节，通过显微镜先确定参考针痕位置，再根据相对位移量|x1‑x2|和|y1‑y2|定位打点第一点，并完成离线打点动作。
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