[发明专利]形成硅酸盐抛光垫的方法有效
| 申请号： | 201110371460.1 | 申请日： | 2011-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN102463531A | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | D·M·奥尔登;A·R·旺克;R·加焦尼;M·E·加泽;J·K·搜;D·德罗普;S·利雷;M·T·班赫 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 |
| 主分类号： | B24D18/00 | 分类号： | B24D18/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 胡嘉倩 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明方法提供了一种制备含硅酸盐的抛光垫的方法，所述方法包括向气体喷嘴中引入气体填充的聚合物微元件的进料物流。将气体喷射流中气体填充的微元件通入柯安达(Coanda)块附近。分隔粗聚合物微元件与柯安达块的弯曲壁，以清洁所述聚合物微元件。收集的聚合物微元件包含总量小于0.1重量％的聚合物微元件，所述聚合物微元件与特定组分结合。向聚合物基质中插入清洁的聚合物微元件，形成抛光垫。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 硅酸盐 抛光 方法 | ||
【主权项】：
一种制备含硅酸盐的抛光垫的方法，所述抛光垫用于对半导体基片、磁性基片和光学基片中的至少一种进行抛光，所述方法包括：a.向气体喷射流中引入气体填充的聚合物微元件的进料物流，所述聚合物微元件具有变化的密度、变化的壁厚度和变化的粒度，所述聚合物微元件具有分布在聚合物微元件的外表面上的含硅酸盐的区域，所述含硅酸盐的区域被分隔开，从而覆盖所述聚合物微元件1‑40％的外表面；并且与以下组分总量超过0.1重量％的组分相结合：i)硅酸盐颗粒，所述硅酸盐颗粒的粒度大于5μm；ii)含硅酸盐的区域，所述含硅酸盐的区域覆盖所述聚合物微元件超过50％的外表面；和iii)聚合物微元件，所述聚合物微元件与硅酸盐颗粒团聚至平均簇尺寸大于120μm；b.将气体喷射流中气体填充的微元件通入柯安达块附近，所述柯安达块具有弯曲壁，通过柯安达效应、惯性和气流阻力来分隔所述聚合物微元件。c.将粗聚合物微元件与柯安达块的弯曲壁分离，以清洁所述聚合物微元件；d.收集聚合物微元件，小于所述聚合物微元件总量的0.1重量％的聚合物微元件与以下组分相结合：i)硅酸盐颗粒，所述硅酸盐颗粒的粒度大于5μm；ii)含硅酸盐的区域，所述含硅酸盐的区域覆盖所述聚合物微元件超过50％的外表面；和iii)聚合物微元件，所述聚合物微元件与硅酸盐颗粒团聚至平均簇尺寸大于120μm；和e.向聚合物基质中插入所述聚合物微元件，形成抛光垫。
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- 本发明公开了一种超硬珩磨油石的制备方法，其步骤为，将金刚石或立方氮化硼颗粒按一定的粒度要求与预混好的金属结合剂按一定的比例混合后球磨，接着将定时定量球磨好的混合粉体置于石墨磨具中热压烧结，然后得到珩磨油石，所述热压烧结具有一定的工艺曲线，以确保珩磨油石的保温保压时间和压力达到工艺要求。本发明制备的珩磨油石具有高强高硬，磨削效率高，自锐性强，使用寿命长，而且工艺简单成本低。
- 金刚石熔合超硬磨头的生产方法-201910597704.4
- 崔红杰;孙永明 - 南京固华机电科技有限公司
- 2019-07-04 - 2019-10-11 - B24D18/00
- 本发明属于磨机配件应用技术领域，具体公开了金刚石熔合超硬磨头的生产方法，包括以下步骤，步骤1、上胶；步骤2、上磨料；步骤3、上A型焊料；步骤4、上D型焊料，手动滚动磨头基体轴柄，旋转2圈；步骤5、上E型焊料；步骤6、上1：10胶水；步骤7、再上焊料50‑100目；步骤8、将磨头放入石墨板工装内，准备进入真空炉内加工。本发明的金刚石熔合超硬磨头的生产方法的有益效果在于：1、其制备流程设计合理，所制得的金刚石熔合超硬磨轮成品率高、使用寿命长，生产成本低；2、生产实现量产、生产效率成几十倍的提高、材料利用率提高20%‑30%，生产成本明显下降，极大的提高了砂轮机金刚石熔合超硬磨头的机械性能和抗冲击强度。
- 一种金刚石磨具的制备方法-201910627765.0
- 赵志伟;晋凯;千雁菊;任瑛;王顺;关春龙 - 河南工业大学
- 2019-07-12 - 2019-10-11 - B24D18/00
- 本发明属于金刚石磨具制备领域，涉及一种金刚石磨具的制备方法。所述的制备方法包括以下步骤：a、按配方称取碳酸钠、氢氧化铝、二氧化硅、硼酸，将其混合、研磨、过筛，得到混合料；b、将步骤a制得的混合料压块、熔炼、水淬，得到玻璃料；c、将步骤b制得的产物干燥、研磨、过筛，得到陶瓷结合剂；d、将步骤c获得的产物先与预合金粉混合，然后与金刚石进行混合，加入临时粘结剂，混匀，密封放置12h；e、将步骤d得到混合料制成磨具毛坯，用微波炉或放电等离子烧结炉烧结，制得金属陶瓷结合剂金刚石磨具。本方法具有磨具自锐性好、烧成温度低、烧成速度快、节约能源等特点，易于工业化生产。
- 一种高性能金刚石磨具的制备方法-201910627793.2
- 赵志伟;晋凯;郑红娟;王顺;赵小苗;关春龙 - 河南工业大学
- 2019-07-12 - 2019-10-11 - B24D18/00
- 本发明属于金刚石磨具制备领域，涉及一种高性能金刚石磨具的制备方法。所述的制备方法包括以下步骤：a、按配方称取Na2CO3、Al(OH)3、SiO2、H3BO3，将其混合、研磨、过筛，得到混合料；b、将步骤a制得的混合料压块、熔炼、水淬，得到玻璃料；c、将步骤b制得的产物干燥、研磨、过筛，得到陶瓷结合剂；d、按配方称取Cu、Fe、Ni、Sn，将其混合、研磨，得到机械化预合金粉；e、将步骤c获得的产物中加入步骤d获得的机械合金化预合金粉，与金刚石进行混合，加入临时粘结剂，混匀，密封放置12h；f、将步骤e得到混合料压块，用微波法或放电等离子法烧结，制得金刚石磨具。本方法具有烧成温度低、烧成速度快、成本低、操作简单等特点，易于工业化生产。
- 一种球面透镜抛光纸切片装置-201821941889.3
- 杜付金;李峰;毕文耿;孙幸 - 南阳市恒欣光学有限公司
- 2018-11-23 - 2019-10-11 - B24D18/00
- 本实用新型公开了一种球面透镜抛光纸切片装置，包括一工作台架，所述工作台架下部设有固定底板，上部设有横梁，所述固定底板上设有用于吸附定位抛光纸的切片台，所述切片台表面设有多个切刀凹槽，所述切片台下部设有真空吸附机构；所述横梁上设有气动切片机构，所述气动切片机构包括一气缸和设在所述气缸伸出端的刀模压头转换器，所述刀模压头转换器上设有多个V型刀模压头和O型刀模压头，所述V型刀模压头上设有V型弹性刀头，所述O型刀模压头上设有O型弹性刀头。与现有技术相比，本实用新型操作使用方便，抛光磨切片成型效果好，对抛光辅料做出了合理的利用，有效节约了生产成本。
- 基于弹性模量连续变化研抛盘的层积式制备装置-201920136356.6
- 王礼明;金明生;康杰;董晓星;朱栋杰 - 浙江工业大学
- 2019-01-27 - 2019-10-11 - B24D18/00
- 本实用新型公开了一种基于弹性模量连续变化研抛盘的层积式制备装置，包括X轴运动模组、Y轴运动模组、Z轴运动模组、机架、控制面板、热床、调平校准平台、高聚物保温箱、高聚物输送泵、磨粒桶、粉体输送泵和控制单元；本实用新型本实用新型通过粉量控制器控制静电磨粒喷枪在运动路径上的单位时间的喷粉量，与高聚物层、磨粒层的层层铺垫解决磨粒易于沉降现象，制作得到的成品研抛盘质量不理想的问题；通过高聚物、引发剂、固化剂和磨粒分离存储解决了磨粒混合物黏附在管路管道及阀门处，容易固结并堵塞装置的问题；通过替换廉价塑料件高聚物混合阀接头，避免了每次需要制备新配比的研抛盘时，需要更换或清洁装置的容器及其管路，避免前次制备的污染问题。
- 高强度金刚石熔合超硬切割片的生产方法-201910597701.0
- 崔红杰;孙永明 - 南京固华机电科技有限公司
- 2019-07-04 - 2019-10-08 - B24D18/00
- 本发明属于砂轮机配件应用技术领域，具体公开了高强度金刚石熔合超硬切割片的生产方法，包括以下步骤，步骤1、装料；步骤2、校水平；步骤3、边缘滚胶；步骤4、上一侧磨料；步骤5、上另一侧磨料；步骤6、厚度方向R角磨料；步骤7、在厚度方向R角上撒一圈40/45磨料；步骤8、上A型焊料；步骤9、上D型焊料；步骤10、上E型焊料；步骤11、上1：10胶水；步骤12、再上焊料50‑100目；步骤13、刷掉附着不牢固的焊料；步骤14、晾干、准备进入真空炉内加工。本发明的有益效果在于：其制备流程设计合理，所制得的金刚石熔合超硬切割片成品率高、使用寿命长，生产成本低，生产实现量产、生产效率成几十倍的提高、材料利用率提高10%‑15%。
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