[发明专利]一种ZnO/SnO2异质结构纳米发光材料的制备方法无效
申请号: | 201110349812.3 | 申请日: | 2011-11-08 |
公开(公告)号: | CN102504816A | 公开(公告)日: | 2012-06-20 |
发明(设计)人: | 陈春晖 | 申请(专利权)人: | 浙江天旭科技有限公司 |
主分类号: | C09K11/66 | 分类号: | C09K11/66;B82Y20/00;B82Y30/00 |
代理公司: | 浙江英普律师事务所 33238 | 代理人: | 陈小良 |
地址: | 310018 浙江省杭州市杭州经济*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种纳米材料的制备方法,具体是指一种无机材料氧化锌/氧化锡异质结构材料的制备方法。本发明采用化学气相沉积法,将量的Sn粉和Zn粉为源材料置于氧化铝舟前端,在离源材料一定距离处放置镀金硅衬底,抽真空后进行高温加热,再通入氧气并保温,在降温后在衬底上所得白色产物为ZnO/SnO2异质结构纳米线发光材料。本发明的优点:工艺可控性强,易操作,成本低,制得的产物纯度高。本发明所制备的产品在半导体行业具有广泛的用途。 | ||
搜索关键词: | 一种 zno sno sub 结构 纳米 发光 材料 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种ZnO/SnO2异质结构纳米发光材料的制备方法,其特征在于包括下述步骤:(1)以Sn粉和Zn粉为源材料,混合均匀置于氧化铝舟中,在离源材料1.5~4cm处放置镀金硅衬底,然后把氧化铝舟置于炉中,并将炉进行密封,其中Sn粉与Zn粉的摩尔比为1∶1;(2)对炉内进行抽真空,直到炉内气压达到‑0.08MPa,关闭抽真空装置,通入惰性气体氩气,当炉内压力达到一个大气压时,开启抽真空装置,再次将炉内气压抽至‑0.08MPa;上述抽真空过程至少重复操作4次;(3)完成步骤(2),抽完真空后,对炉进行加热,直至升温至950~1050℃,通入50sccm氧气,保温50~70分钟;(4)然后将炉自然降温到室温,取出衬底,衬底上所得白色产物为ZnO/SnO2异质结构纳米线发光材料。
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