[发明专利]一种深紫外光学薄膜处理装置

摘要

一种深紫外光学薄膜处理装置涉及深紫外光学技术应用领域，该装置包括：控制模块和处理腔。控制模块对处理腔的工作状态进行设定和控制，处理腔对深紫外光学薄膜进行处理；控制模块包括：变压器、电容、数字电路板、第一开关、第二开关和第三开关；处理腔包括：处理腔外壳、红外线灯、紫外光灯、样品台、低温热电偶探头和隔离挡板。该装置同时具有紫外灯清洗功能和红外线灯加热功能，可以快速高效去除深紫外光学薄膜内部与表面吸附的有机污染物和水汽成分，克服了以往单独或分别采用紫外光清洗技术和低温退火技术时存在的二次污染和低效率的问题。

主权项

一种深紫外光学薄膜处理装置，其特征在于：该装置包括：控制模块(1)和处理腔(2)；所述控制模块(1)对处理腔(2)的工作状态进行设定和控制，处理腔(2)对深紫外光学薄膜进行处理；所述控制模块(1)包括：变压器(11)、电容(12)、数字电路板(13)、第一开关(14)、第二开关(15)和第三开关(16)；所述处理腔(2)包括：腔体(21)、红外线灯(22)、紫外光灯(23)、样品台(24)、低温热电偶探头(25)和隔离挡板(26)；所述变压器(11)一端与电容(12)和紫外光灯(23)串联，紫外光灯(23)固定在腔体(21)上端，变压器(11)另一端与电源串联，由第一开关(14)控制；所述数字电路板(13)与低温热电偶探头(25)和电源连接，由第二开关(15)控制，低温热电偶探头(25)放置于样品台(24)下，并与样品接触，所述样品台(24)固定在腔体(21)中间；所述红外线灯(22)固定在腔体(21)下端，数字电路板(13)与红外线灯(22)连接，由第三开关(16)控制，隔离挡板(26)两端与腔体(21)左右两侧连接。