[发明专利]一种深紫外光学薄膜处理装置

权利要求书

1.一种深紫外光学薄膜处理装置，其特征在于：该装置包括：控制模块(1)和处理腔(2)；所述控制模块(1)对处理腔(2)的工作状态进行设定和控制，处理腔(2)对深紫外光学薄膜进行处理；所述控制模块(1)包括：变压器(11)、电容(12)、数字电路板(13)、第一开关(14)、第二开关(15)和第三开关(16)；所述处理腔(2)包括：腔体(21)、红外线灯(22)、紫外光灯(23)、样品台(24)、低温热电偶探头(25)和隔离挡板(26)；所述变压器(11)一端与电容(12)和紫外光灯(23)串联，紫外光灯(23)固定在腔体(21)上端，变压器(11)另一端与电源串联，由第一开关(14)控制；所述数字电路板(13)与低温热电偶探头(25)和电源连接，由第二开关(15)控制，低温热电偶探头(25)放置于样品台(24)下，并与样品接触，所述样品台(24)固定在腔体(21)中间；所述红外线灯(22)固定在腔体(21)下端，数字电路板(13)与红外线灯(22)连接，由第三开关(16)控制，隔离挡板(26)两端与腔体(21)左右两侧连接。

2.如权利要求1所述的一种深紫外光学薄膜处理装置，其特征在于：所述变压器(11)采用漏磁变压器，其初级绕组选择220V输入，次级绕组输出为220v～3000V之间。

3.如权利要求1所述的一种深紫外光学薄膜处理装置，其特征在于：所述腔体(21)外壳采用不锈钢板或抛光Al板制成。

4.如权利要求1所述的一种深紫外光学薄膜处理装置，其特征在于：所述腔体(21)上端可向上翻并打开。

5.如权利要求1所述的一种深紫外光学薄膜处理装置，其特征在于：所述样品台(24)采用微晶玻璃制成，样品台(24)中间开孔，低温热电偶探头(25)从开孔接触样品底部，通过对样品底部温度的实时测量，及对红外线灯工作状态的控制，进而对样品加热温度精确控制。

6.如权利要求1所述的一种深紫外光学薄膜处理装置，其特征在于：所述隔离挡板(26)采用表面抛光Al合金。