[发明专利]利用飞秒激光在石英玻璃内部制造三维微螺旋通道的方法有效
| 申请号： | 201110343306.3 | 申请日： | 2011-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN102513700A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 杨青;李村;何圣关;柳克银;陈烽;赵玉龙 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | B23K26/04 | 分类号： | B23K26/04;B23K26/36;C03C15/00 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 弋才富 |
| 地址： | 710048*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 利用飞秒激光在石英玻璃内部制造三维微螺旋通道的方法，首先飞秒激光光束聚集在石英玻璃下表面，石英玻璃固定在三维精密工作台上，使飞秒激光束焦点在石英玻璃内部由下而上扫描出所需微螺旋轨迹轮廓；然后将扫描出的石英玻璃基底浸泡在氢氟酸溶液中，腐蚀掉经过飞秒激光作用的区域，直到形成上下贯通的微螺旋通道，本发明具有工艺简单、成本低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 激光 石英玻璃 内部 制造 三维 螺旋 通道 方法 | ||
【主权项】：
利用飞秒激光在石英玻璃内部制造三维微螺旋通道的方法，其特征在于，具体步骤如下：步骤一、飞秒激光光束经过光路上装有的衰减片、偏振片及透镜将焦点聚集在石英玻璃下表面，石英玻璃固定在三维精密工作台上，控制三维精密工作台运动使飞秒激光束焦点在石英玻璃内部由下而上扫描出所需微螺旋轨迹轮廓；步骤二、将扫描出的石英玻璃基底浸泡在质量浓度为5％‑15％的氢氟酸溶液中，置于温度为50℃‑80℃的超声波环境中，超声波的强度为50千赫兹，氢氟酸腐蚀掉经过飞秒激光作用的区域，间歇性的取出石英玻璃吹干观察和更换氢氟酸溶液，直到形成上下贯通的微螺旋通道。
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