[发明专利]线形切割机的导轮的线槽结构

摘要

本发明公开了一种线形切割机的导轮的线槽结构，靠近出线端的第一线槽由U型槽和弧型槽一体连接构成，所述U型槽上端一体成型出所述弧型槽，所述弧型槽上端开口的宽度与线材初始直径相同，线材由弧型槽上端开口进入U型槽内，与传统大口的U型槽和V型槽相比，本发明的第一线槽的开口较小，能避免线材跳线等，弧型槽更能有效减缓线材晃动等，综上，本发明可以有效补偿在出线端的因线损而形成小线径的线材，进而提高晶圆切片的良率，并延长导轮的使用寿命，进而达到节省成本的目的。

主权项

一种线形切割机的导轮的线槽结构，所述导轮(11)具有相对的一个入线端(111)和一个出线端(112)，所述导轮上位于所述入线端和所述出线端之间的部位开设有若干平行的环形的线槽(12)，线形切割机的线材(2)沿所述环形的线槽缠绕于相邻导轮之间形成若干条平行切线，其特征在于：若干环形的线槽之中靠近所述出线端的环形的线槽为第一线槽(121)，所述第一线槽由U型槽(1211)和弧型槽(1212)一体连接构成，所述U型槽上端一体成型出所述弧型槽，所述弧型槽上端开口(1213)的宽度与所述线材(2)的直径相同。