[发明专利]线形切割机的导轮的线槽结构

说明书

技术领域

本发明涉及一种导轮结构，尤指一种线形切割机的导轮结构。

背景技术

太阳能电池目前主要分为结晶硅太阳能电池及非晶硅太阳能电池，其中结晶硅太阳能电池的硅芯片是由硅晶碇切片而来。硅晶碇切片制做硅晶圆的常见方法是利用线形切割机进行自由磨粒的切削作业，例如线形切割机通常包括可旋转的两个导轮及装配在导轮的平行导槽上的线材，使形成多段的并行线锯；而在切削作业时将内含切削粉(如碳化硅等)的切削液浇注于并行线锯上，此时利用马达等牵动并行线锯使切削粉与硅晶锭接触磨擦而产生切割，以将硅晶碇切成均匀薄片。

但为了提高硅晶碇切片的切削速率，前述导轮的长度日益提升，而导致线槽因CNC(数控机床)加工的问题而出现不一致型态。如，如图1所示，CNC车床刀具由导轮11的入线端111处开始进行线槽加工，当加工至出线端112处时，会因车刀磨损导致出线端112的线槽出现偏心(如图3所示)、毛边、突起、不对称等问题，而有别于图2所示之正V形的线槽型态。因此，当应用于切削作业时，在出线端112处的线材会因线损而形成较小的线径，而较小线径的线材容易因出线端112的较差的线槽而产生诸多问题，例如，线材的晃动程度加剧，使所切割的芯片产生波浪状，甚至出现因线材的跳沟所导致的厚度不一致的芯片切片；也可能造成切削作业的线材搭线、断线的问题，均使得芯片切片的良率下降。

发明内容

为了克服上述缺陷，本发明提供了一种线形切割机的导轮的线槽结构，该线形切割机的导轮的线槽结构能够有效补偿在出线端的因线损而形成小线径的线材，进而提高晶圆切片的良率。

本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种线形切割机的导轮的线槽结构，所述导轮具有相对的一个入线端和一个出线端，所述导轮上位于所述入线端和所述出线端之间的部位开设有若干平行的环形的线槽，线形切割机的线材沿所述环形的线槽缠绕于相邻导轮之间形成若干条平行切线，若干环形的线槽之中靠近所述出线端的环形的线槽为第一线槽，所述第一线槽由U型槽和弧型槽一体连接构成，所述U型槽上端一体成型出所述弧型槽，所述弧型槽上端开口的宽度与所述线材直径(指线材初始直径)相同。

本发明为了解决其技术问题所采用的进一步技术方案是：

较佳地，所述U型槽的槽底面为圆弧形。

较佳地，所述第一线槽的槽深为所述线材直径的1.5倍至3倍。

较佳地，若干环形的线槽之中十分之一至二分之一的线槽且靠近所述出线端的线槽为所述第一线槽。

较佳地，所有所述线槽之中除所述第一线槽之外的其余线槽为正V型线槽，每个正V型线槽具有槽底面和相对的两槽壁，所述正V型线槽的槽底面为平面状和圆弧状两者之一，每个正V型线槽的相对的两槽壁的夹角为30°至75°，每个所述正V型线槽的槽深为为所述线材直径的1.5倍至3倍。

较佳地，也可以所有所述线槽皆具有与所述第一线槽相同的结构。

较佳地，相邻两线槽的间距为0.2mm至1mm。

较佳地，所有环形的线槽为等间距排布。

本发明的有益效果是：本发明提供了一种线形切割机的导轮的线槽结构，靠近出线端的第一线槽由U型槽和弧型槽一体连接构成，所述U型槽上端一体成型出所述弧型槽，所述弧型槽上端开口的宽度与线材初始直径相同，线材由弧型槽上端开口进入U型槽内，由于U型槽上端为弧型槽且弧型槽上端开口的宽度与线材直径相同，因此与传统大口的U型槽和V型槽相比，本发明的第一线槽的开口较小，能避免线材跳线等，弧型槽更能有效减缓线材晃动等，综上，本发明可以有效补偿在出线端的因线损而形成小线径的线材，进而提高晶圆切片的良率，并延长导轮的使用寿命，进而达到节省成本的目的。

附图说明

图1是传统的导轮的示意图；

图2是传统的导轮在入线端的线槽(即图1中A部的线槽)的示意图；

图3是传统的导轮在出线端的线槽(即图1中B部的线槽)的示意图；

图4是本发明的导轮的示意图；

图5是本发明的导轮在出线端的线槽(即图4中C部的线槽，也是本发明所述的第一线槽)的示意图。

具体实施方式