[发明专利]一种基于表面张力的微尺度驱动方法和装置无效
| 申请号： | 201110341827.5 | 申请日： | 2011-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN102502475A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 王子千;赵亚溥 | 申请（专利权）人： | 中国科学院力学研究所 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于表面张力的微尺度驱动方法，该方法是：在具有适当厚度的柔性悬臂梁的表面形成一层亲液层，然后在该亲液层上滴上预定量的液滴；所述液滴在表面张力的作用下将悬臂梁弯曲一定的角度，从而使所述悬臂梁的端部翘起预定的高度。本发明还公开了一种基于表面张力的微尺度驱动装置。本发明通过采用液滴与亲液层的表面之间的张力来驱动柔性悬臂梁弯曲，从而能够为微电子机械系统提供更大的微驱动力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 表面张力 尺度 驱动 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种基于表面张力的微尺度驱动方法，该方法是：在具有适当厚度的柔性悬臂梁的表面形成一层亲液层，然后在该亲液层上滴上预定量的液滴；所述液滴在表面张力的作用下将悬臂梁弯曲一定的角度，从而使所述悬臂梁的端部翘起预定的高度。
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