[发明专利]一种基于表面张力的微尺度驱动方法和装置无效
| 申请号： | 201110341827.5 | 申请日： | 2011-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN102502475A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 王子千;赵亚溥 | 申请（专利权）人： | 中国科学院力学研究所 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 表面张力 尺度 驱动 方法 装置 | ||
1.一种基于表面张力的微尺度驱动方法，该方法是：在具有适当厚度的柔性悬臂梁的表面形成一层亲液层，然后在该亲液层上滴上预定量的液滴；所述液滴在表面张力的作用下将悬臂梁弯曲一定的角度，从而使所述悬臂梁的端部翘起预定的高度。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述悬臂梁的表面还形成有一层疏液层，该疏液层位于靠近所述悬臂梁的端部的位置。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述悬臂梁为具有适当长宽高的SiN。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述亲液层为亲水SiO2、Al或Au材料其中的一种或一种以上，所述疏液层为疏水Parylene、Teflon、PDMS(聚二甲基硅氧烷)材料其中的一种或一种以上，所述液滴为水、乙醇、硅油材料其中的一种或一种以上。
5.一种基于表面张力的微尺度驱动装置，其特征在于，该装置包括：形成在基底表面的柔性悬臂梁，该悬臂梁具有适当的长度、宽度和高度，在所述悬臂梁的表面形成有一层亲液层；通过在该亲液层上滴上预定量的液滴，所述液滴在表面张力的作用下将悬臂梁弯曲一定的角度，从而使所述悬臂梁的端部翘起预定的高度。
6.如权利要求5所述的装置，其特征在于，在所述悬臂梁的表面还形成有一层疏液层，该疏液层位于靠近所述悬臂梁的端部的位置。
7.如权利要求5所述的装置，其特征在于，所述亲液层为亲水SiO2、Al或Au材料其中的一种或一种以上，所述疏液层为疏水Parylene、Teflon、PDMS(聚二甲基硅氧烷)材料其中的一种或一种以上，所述液滴为水、乙醇、硅油材料其中的一种或一种以上。
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