[发明专利]一种用于沟槽刻蚀设备零件的清洗方法有效
| 申请号： | 201110340117.0 | 申请日： | 2011-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN103084984A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 吕永铭 | 申请（专利权）人： | 上海科秉电子科技有限公司;科治新技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24C3/32 | 分类号： | B24C3/32;B24C5/04;B24C7/00 |
| 代理公司： | 上海兆丰知识产权代理事务所(有限合伙) 31241 | 代理人： | 倪继祖 |
| 地址： | 201709 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于沟槽刻蚀设备零件的清洗方法，包括以下步骤：选择树脂砂作为主要砂材，调整喷砂机喷出工作压力为0.35Mpa-0.5Mpa；将喷砂机的喷砂头对准待清洗的沟槽刻蚀设备零件上的附着物区域开始喷砂，利用砂材冲击掉附着于所述沟槽刻蚀设备零件上的附着物；再经过超纯水精洗将上述附着物清除。本发明清洗方法可以在不伤及母材与阳极膜层的情况下，同样达到零件的洗净目的，同时还可节省作业时间成本，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 沟槽 刻蚀 设备 零件 清洗 方法 | ||
【主权项】：
一种用于沟槽刻蚀设备零件的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：选择树脂砂作为主要砂材，调整喷砂机喷出工作压力为0.35Mpa‑0.5Mpa；将喷砂机的喷砂头对准待清洗的沟槽刻蚀设备零件上的附着物区域开始喷砂，利用砂材冲击掉附着于所述沟槽刻蚀设备零件上的附着物；再经过超纯水精洗将上述附着物清除。
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