[发明专利]一种用于沟槽刻蚀设备零件的清洗方法有效
| 申请号： | 201110340117.0 | 申请日： | 2011-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN103084984A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 吕永铭 | 申请（专利权）人： | 上海科秉电子科技有限公司;科治新技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24C3/32 | 分类号： | B24C3/32;B24C5/04;B24C7/00 |
| 代理公司： | 上海兆丰知识产权代理事务所(有限合伙) 31241 | 代理人： | 倪继祖 |
| 地址： | 201709 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 沟槽 刻蚀 设备 零件 清洗 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于沟槽刻蚀设备零件的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：
选择树脂砂作为主要砂材，调整喷砂机喷出工作压力为0.35Mpa-0.5Mpa；将喷砂机的喷砂头对准待清洗的沟槽刻蚀设备零件上的附着物区域开始喷砂，利用砂材冲击掉附着于所述沟槽刻蚀设备零件上的附着物；再经过超纯水精洗将上述附着物清除。
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